無塵車間常用名詞
來源于：普知建設
發(fā)布時間：2021-04-23
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▲無塵車間：無塵車間是一個為了對空間內(nèi)空氣中的微粒做控制，所建造的特殊封閉性建筑。一般而言，無塵車間也會對溫濕度、氣流運動模式、與震動噪音等環(huán)境因素做控制。
▲微粒控制：無塵車間微粒控制的第一步，是把室內(nèi)微粒對制程影響的程度做完整分析，然后針對分析結(jié)果，訂定恰當?shù)奈⒘？刂品绞脚c無塵車間管理模式，才能有效率的控制微粒污染。在做微粒影響分析時，必須特別注意數(shù)據(jù)的量化，也就是粒徑與其數(shù)量對制程的影響，才是有用的數(shù)據(jù)。
▲外來污染源：從無塵車間外進入系統(tǒng)的污染源，外來污染源主要是由空調(diào)通風系統(tǒng)所導入，另外門、窗、墻壁裂縫等也是外來污染源的成因。
▲稀釋：稀釋是污染控制的另一種觀念，多應用在潔凈度不高的無塵車間。例如在 Class 10000的無塵車間，因為換氣量不大，制程與人員產(chǎn)生的粒子就會在室內(nèi)打轉(zhuǎn)，要比較的時間才會排出。因此新的干凈空氣只能稀釋室內(nèi)的微粒濃度，讓室內(nèi)潔凈度控制在某一等級之下就可以了，不要求把人員與制程隔開。使用稀釋法作為粒控制時，要特別注意本節(jié)第二條微粒影響分析的正確性，能掌握微粒的產(chǎn)生速率，才能有效地稀釋微粒。
▲氣流模式：指的是流場型態(tài)，氣流分布，氣流的流向等性質(zhì)。由于微粒的移除完全掌握在氣流的模式，因此越潔凈的無塵車間或是無塵區(qū)域，對氣流模式的掌控就越重視。基本上要先掌握氣流模式，才能掌握潔凈度。
▲非單一流向型氣流：氣流方向不受控制，就是所謂的亂流型無塵車間，潔凈度較低的無塵車間都是用非單一流向型氣流以節(jié)省成本。
▲單一流向型氣流：氣流以同一個方向移動，這種無塵車間稱為單一流向型無塵車間，又稱為層流型無塵車間。高潔凈度的無塵車間需要單一流向型氣流。
▲As-built cleanroom（剛完工的無塵室）：已經(jīng)完成且可以操作，所有相關(guān)支持設施皆已完成的無塵車間，但并沒有設備及操作設備的人員，又稱為空態(tài)無塵車間。
▲At-rest cleanroom（準備中的無塵室）：已經(jīng)完成且可以操作，所有相關(guān)支持設備皆已完成的無塵車間，設備已加載并可以操作或已在運轉(zhuǎn)，但沒有操作設備的人，又稱為靜態(tài)無塵車間。
▲Operational cleanroom（操作中的無塵室設施）：一個已在正常運轉(zhuǎn)的無塵室，所有相關(guān)支持設施皆已動作，設備及人員皆已加載，運轉(zhuǎn)狀態(tài)可以呈現(xiàn)和達到其正常的功能，又稱為動態(tài)無塵車間。
▲空氣潔凈度：表示空氣潔凈的程度，以含塵濃度衡量，含塵濃度高則潔凈度低，反之則高。
▲空氣潔凈度級別：以數(shù)字表示的空氣潔凈度級別，級別越高，數(shù)字越小，潔凈度則越高，反之潔凈度越低
▲級別上限：級別含塵濃度的最大上限值。
▲浮游菌濃度：經(jīng)過培養(yǎng)得出的單位體積空氣中的菌落數(shù)個/m。
▲沉降菌濃度：用Φ90mm的培養(yǎng)皿靜置室內(nèi)30min,然后培養(yǎng)得出的每個皿的菌落數(shù)。
▲塵埃粒子：表面和氣體中的固體物質(zhì)。
▲顆粒：顆粒可以定義為特定尺寸，液態(tài)或固態(tài)或兩種狀態(tài)的物質(zhì)。由美國聯(lián)邦209E標準定義的粒度范圍為0.001微米至1微米。 ISO 14644標準將粒子定義為具有確定物理邊界的小粒子。
▲顆粒濃度：每單位體積空氣中的顆粒數(shù)。
▲粒徑：粒子出現(xiàn)在顯微鏡觀察平面上的最大線性形狀因子，或由自動檢測器檢測到的粒子當量直徑。
▲超細顆粒：顆粒的范圍從約0.01微米到離散顆粒計數(shù)器的顆粒尺寸檢測的上限。
▲微粒控制：無塵車間微粒控制的第一步，是把室內(nèi)微粒對制程影響的程度做完整分析，然后針對分析結(jié)果，訂定恰當?shù)奈⒘？刂品绞脚c無塵車間管理模式，才能有效率的控制微粒污染。在做微粒影響分析時，必須特別注意數(shù)據(jù)的量化，也就是粒徑與其數(shù)量對制程的影響，才是有用的數(shù)據(jù)。
▲外來污染源：從無塵車間外進入系統(tǒng)的污染源，外來污染源主要是由空調(diào)通風系統(tǒng)所導入，另外門、窗、墻壁裂縫等也是外來污染源的成因。
▲內(nèi)部污染源：無塵車間內(nèi)部產(chǎn)生污染的來源，一般是制程機器與操作員工，最嚴重的內(nèi)部污染源一般是操作員工。
▲隔離：隔離是污染控制的一種觀念，也就是讓污染源隔絕在無塵區(qū)域之外。這種觀念多應用在高潔凈度的無塵環(huán)境，例如 Class 100，Class 10，Class 1等高濾網(wǎng)覆蓋率的無塵車間，或是使用迷你無塵車間（潔凈棚）將機臺整個包住。
▲稀釋：稀釋是污染控制的另一種觀念，多應用在潔凈度不高的無塵車間。例如在 Class 10000的無塵車間，因為換氣量不大，制程與人員產(chǎn)生的粒子就會在室內(nèi)打轉(zhuǎn)，要比較的時間才會排出。因此新的干凈空氣只能稀釋室內(nèi)的微粒濃度，讓室內(nèi)潔凈度控制在某一等級之下就可以了，不要求把人員與制程隔開。使用稀釋法作為粒控制時，要特別注意本節(jié)第二條微粒影響分析的正確性，能掌握微粒的產(chǎn)生速率，才能有效地稀釋微粒。
▲氣流模式：指的是流場型態(tài)，氣流分布，氣流的流向等性質(zhì)。由于微粒的移除完全掌握在氣流的模式，因此越潔凈的無塵車間或是無塵區(qū)域，對氣流模式的掌控就越重視。基本上要先掌握氣流模式，才能掌握潔凈度。
▲非單一流向型氣流：氣流方向不受控制，就是所謂的亂流型無塵車間，潔凈度較低的無塵車間都是用非單一流向型氣流以節(jié)省成本。
▲單一流向型氣流：氣流以同一個方向移動，這種無塵車間稱為單一流向型無塵車間，又稱為層流型無塵車間。高潔凈度的無塵車間需要單一流向型氣流。
▲As-built cleanroom（剛完工的無塵室）：已經(jīng)完成且可以操作，所有相關(guān)支持設施皆已完成的無塵車間，但并沒有設備及操作設備的人員，又稱為空態(tài)無塵車間。
▲At-rest cleanroom（準備中的無塵室）：已經(jīng)完成且可以操作，所有相關(guān)支持設備皆已完成的無塵車間，設備已加載并可以操作或已在運轉(zhuǎn)，但沒有操作設備的人，又稱為靜態(tài)無塵車間。
▲Operational cleanroom（操作中的無塵室設施）：一個已在正常運轉(zhuǎn)的無塵室，所有相關(guān)支持設施皆已動作，設備及人員皆已加載，運轉(zhuǎn)狀態(tài)可以呈現(xiàn)和達到其正常的功能，又稱為動態(tài)無塵車間。
▲空氣潔凈度：表示空氣潔凈的程度，以含塵濃度衡量，含塵濃度高則潔凈度低，反之則高。
▲空氣潔凈度級別：以數(shù)字表示的空氣潔凈度級別，級別越高，數(shù)字越小，潔凈度則越高，反之潔凈度越低
▲級別上限：級別含塵濃度的最大上限值。
▲浮游菌濃度：經(jīng)過培養(yǎng)得出的單位體積空氣中的菌落數(shù)個/m。
▲沉降菌濃度：用Φ90mm的培養(yǎng)皿靜置室內(nèi)30min,然后培養(yǎng)得出的每個皿的菌落數(shù)。
▲塵埃粒子：表面和氣體中的固體物質(zhì)。
▲顆粒：顆粒可以定義為特定尺寸，液態(tài)或固態(tài)或兩種狀態(tài)的物質(zhì)。由美國聯(lián)邦209E標準定義的粒度范圍為0.001微米至1微米。 ISO 14644標準將粒子定義為具有確定物理邊界的小粒子。
▲顆粒濃度：每單位體積空氣中的顆粒數(shù)。
▲粒徑：粒子出現(xiàn)在顯微鏡觀察平面上的最大線性形狀因子，或由自動檢測器檢測到的粒子當量直徑。
▲超細顆粒：顆粒的范圍從約0.01微米到離散顆粒計數(shù)器的顆粒尺寸檢測的上限。
