潔凈技術是為了滿足實驗研究和產品加工中對精密化、微型化、高純度、高質量和高可靠性的要求而誕生的新技術。潔凈室這個名詞和概念起源于18世紀60年代的歐洲醫學。當時的認識僅限于處置室、手術室等滅菌處理的工作環境，可以控制噴灑消毒后傷口的感染率。現代潔凈室工程雖然沿用了這個名字，但它的定義和內涵與最初的概念有著根本的不同。現代潔凈室形成了一種專門技術，它的歷史只有半個世紀。
中國潔凈技術的發展大致可分為以下幾個階段：
● 20世紀60年代開始——服務于三線建設——初始發展階段；
● 70年代到80年代——服務于大規模集成電路會戰——首次大普及。
● 80年代中期至今——服務于醫藥行業生產環境的現代化(GMP、潔凈手術室建設等)——第二次大普及。
1)20世紀50年代中期到60年代中期，主要借鑒前蘇聯的技術服務于國防、航天、原子能工業和科學研究。與現代潔凈技術相比，在廠房、設備、氣流組織等方面都顯得較為原始粗糙，屬于起步階段。
2)20世紀60年代中期到70年代后期，由于國內外各種原因，主要靠自力更生發展。當時，參照美國和日本的標準和技術，逐漸研制出高效過濾器和納焰法試驗臺、潔凈工作臺、粒子計數器、裝配式潔凈室和其他潔凈室工程設備(空氣噴淋室、傳遞窗、余壓閥等)，并編制了《空氣凈化技術措施》，奠定了中國潔凈技術的基礎。
3)20世紀70年代末至80年代末，由于國家改革開放政策的實施，發達國家的技術和設備開始進入中國市場，現代潔凈技術在大規模集成電路、光導纖維、彩色顯像管、液晶顯示屏等工業潔凈領域發展迅速。成功研制了配備0.1um高效過濾器的10級凈化小室和無隔板過濾器。同時，在醫療、制藥、生物、化妝品和食品行業生物潔凈室中也得到了應用。一些制藥廠在原有空調系統的改造中開始采用生物潔凈技術。醫院采用簡易的水平“單向流”潔凈室和裝配式無菌病房。生物安全工作臺和細菌采樣儀研制成功。1982年，公布中國醫藥行業GMP；1983年，成立中國電子學會潔凈技術分會；1985年，頒布GBJ73-1984 《潔凈廠房設計規范》，中國的潔凈技術進入穩步發展階段。
4)20世紀80年代末至今，大規模集成電路領域全面引進外資、技術和設備，形成了一批國際知名品牌企業。潔凈室的規模越來越大，風機過濾機組（FFU）和微環境技術得到了應用和推廣。潔凈技術在醫、藥領域趨于成熟和標準化，生物安全技術發展迅速。與潔凈室工程相關的技術裝備，包括微環境、密褶型無隔板高效過濾器、微計算機控制過濾器性能測試臺等，基本可以在國內制造，0.1um光刻機及相關環境的研制也已經開始。
經過50多年的發展，中國的空氣潔凈技術已經形成了比較完整的技術體系和廣闊的應用市場。但必須注意的是，由于各種原因，中國在潔凈技術高端領域和市場中仍然存在差距和缺乏話語權，需要科技和工程技術人員的不斷努力。
如今，中國的潔凈技術已經發展到了以下的水平：
①從軍工到民用——制藥、醫療和食品；
②從高精到普及——不僅高精產業有需求，一般民用行業和家庭生活也需要大量需求；
③從國內到國外——空氣凈化產品和潔凈室工程已經走出國門。
